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      等離子清洗機

      0755-81478611EN
      小型真空等離子表面處理機
      等離子表面處理機-小型等離子清洗機-等離子表面處理機廠家
      • PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

      PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

      類別:小型真空等離子表面處理機

      簡介: 低溫活化表面處理設備 等離子去膠機 晶圓等離子清洗裝置 小型等離子設備

      全國咨詢服務熱線:0755-81478611

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      • 產品特點
      • 應用領域
      PT-10SMT
      腔體材質: 石英耐熱玻璃
      供電電源: AC220V
      工作電流: 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
      射頻電源功率: 0-300W/0-600W可調(射頻匹配一體)
      射頻頻率: 13.56MHz
      頻率偏移量: 小于0.2KHz
      特性阻抗: 50歐姆,自動匹配
      真空度: 10pa-300Pa
      氣體路數: 雙路氣體輸入(高精密浮子流量計)
      氣體流量: 10—160ml/min(可調)
      過程控制: PLC人機界面自動與手動方式
      清洗時間: 1-9999秒鐘可調
      功率大?。?0%-100可調
      內腔尺寸:直徑200×深度320mm     10L
      外形尺寸: 650×550×580mm L×W×H
      真空泵: 飛越真空泵VRD-8(含油霧過濾器)
      真空室溫度: 小于30°C

      冷卻方式: 強制風冷


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